«НИИМЭ и Микрон»: 50 лет в микроэлектронике


Для простого обывателя микрон - запредельно малая величина, совершенно неразличимая глазом. Для Зеленограда и Москвы "Микрон" - повод для гордости, одно из немногих предприятий, сумевших пережить сложные постперестроечные годы, остаться не только на плаву, но и двигаться вперед, помогая нашей стране сокращать технологическое отставание от мирового уровня микроэлектроники.

От прошлого к будущему

НИИМЭ как юридическое лицо было образовано 9 марта 1964 года. 1 февраля 1967 г. приказом Министра электронной промышленности СССР А. И. Шокина при НИИМЭ был создан завод по производству интегральных схем "Микрон".

За свою полувековую историю "Микрон" видел немало. Он был свидетелем энтузиазма и подъема 1960 - 70-х годов, когда отечественная электронная промышленность занимала одно из ведущих мест в мировой микроэлектронике. Он испытал горечь поражений в 1990-е, когда наука и микроэлектроника по сути оказались не нужны государству, а экономическая политика страны была больше повернута лицом к западу, чем к отечественному производителю. Сегодня для "Микрона" наступило время надежд - технологический провал между отечественными и передовыми западными научными разработками, образовавшийся в 1990-е годы, благодаря усилиям "Микрона" сокращается.

Москвичи вспомнят, что именно это предприятие делает транспортные билеты для проезда в метро. Специалисты скажут, что это признанный лидер отечественной микроэлектронной отрасли, производящий 42 процента отечественных микросхем. Действительно, в нашей стране у него около 400 заказчиков и еще более сотни - за рубежом. В числе клиентов "Микрона" Московский метрополитен, транспортные предприятия России, банки, операторы мобильной связи, российские и зарубежные производители  электронной продукции.

Продукция "Микрона" хорошо знакома на рынке изделий для промышленной электроники и "умных" карт (это транспортные и другие RFID-карты, использующие технологию радиочастотной идентификации, SIM-карты, банковские карты с чипом, социальные карты, биопаспорта и другие идентификационные документы).

Быть системообразующим кластером

Ныне популярное не менее чем "нано" слово "кластер" для "Микрона" - не пустой звук. Сегодня ОАО "НИИМЭ и Микрон" - одно из немногих предприятий, где выстроена полная производственная цепочка от разработки чипа до конечного высокотехнологичного продукта. И пока Зеленоград в составе столицы только приступает к созданию инновационного территориального кластера (ИТК) по государственной федеральной программе, "Микрон" уже фактически построил систему кооперации, объединившую вокруг него малые и средние компании, и выстроил прочные связи по подготовке кадров с профильными вузами - МИЭТом, МФТИ, МГТУ и др. Впрочем, "Микрон" готов делиться опытом и участвовать в проекте ИТК в качестве системообразующей компании. "Микрон" является "якорной" компанией для микроэлектронного кластера Москвы, и в правительстве Москвы есть понимание необходимости поддержки завода и научного центра. В настоящее время идут переговоры о выработке форм поддержки, среди которых будут субсидии, стимулирование экспорта, общие инициативы по регулированию рынка", - отмечает заместитель генерального директора ОАО "НИИМЭ и Микрон" Анна Половинко.

Производство на "Микроне" - одно из самых передовых в России, а некоторое оборудование и вовсе уникально не только для нашей страны, но и для всей Восточной Европы. Особая гордость "Микрона" - "чистая комната", где производятся микрочипы с топологией 90 нм. "Микроновская "чистая комната" сегодня считается одной из самых лучших в Восточной Европе, а по своему технологическому уровню входит в топ-5 европейских предприятий микроэлектроники, освоивших 90 нм. Кроме России, производственной технологией уровня 90 нм обладают всего семь стран: США, Франция, Германия, Япония, Тайвань, Южная Корея и КНР", - рассказывает генеральный директор ОАО "НИИМЭ и Микрон", академик РАН Геннадий Красников.

"Самым значимым научным результатом 2013 года, несомненно, стала разработка маршрута микросхем с топологическим уровнем 65 нм и изготовление первых тестовых кристаллов, - говорит заместитель генерального директора по науке ОАО "НИИМ-Э и Микрон" Николай Шелепин. - Для получения этого результата проделана большая исследовательская работа многими сотрудниками и института "НИИМЭ", и цеха кристального производства завода".

"Освоение "Микроном" технологии 90 нм и успешный запуск производства в 2012 году во многом помог подготовить инфраструктуру, инженеров-технологов и разработчиков к переходу на новый топологический уровень", - отмечает генеральный директор ОАО "НИИМЭ и Микрон", академик РАН Геннадий Красников.

Люди нашего "Микрона"

Есть в Зеленограде небольшая улица, соединяющая два основных проспекта города - Центральный и Панфиловский. Названа она по имени легендарного летчика-штурмовика Николая Полагушина, в 22 года получившего звание Героя Советского Союза. На его боевом счету 250 боевых вылетов, 14 сбитых вражеских самолетов и множество уничтоженной боевой техники врага. Мало кто знает, что герой военных передовиц после войны несколько лет возглавлял на "Микроне" отдел кадров, был очень скромным и всеми уважаемым человеком...

За 50-летнюю историю на "Микроне" были "выращены" более 100 кандидатов и 40 докторов наук, более 50 лауреатов Государственной премии СССР, Совета Министров СССР и Премии правительства РФ, в том числе два лауреата Ленинской премии. Долгое время на "Микроне" проработали кавалер ордена Трудовой Славы трех степеней А. А. Казакул, одна из немногих Героев Труда СССР - С. А. Громова. На предприятии и сегодня трудятся 33 кандидатов и 13 докторов наук.

В 1983 году коллектив предприятия был награжден орденом Трудового Красного Знамени, а в 2001-м ОАО "НИИМ-Э и Микрон" присуждена премия правительства РФ в области качества. За годы существования предприятия более 500 сотрудников были удостоены государственных наград.

Сегодня на "Микроне" трудятся около 1700 человек, свыше 240 из них отдали предприятию более 30 лет жизни. Когда-то они пришли сюда молодыми специалистами и учеными, загоревшись идеей создать новую "невероятную промышленность" - микроэлектронику. Среди самых заслуженных работников "Микрона", показавших высокие трудовые достижения и отдавших предприятию многие годы, ныне работающие А. С. Валеев, В. Н. Литвак, Л. А. Ангелова, Н. М. Беркова, В. А. Вавилов, Ч. П. Волк, В. М. Волков, О. П. Гущин, Л. Е. Дронова, Л. С. Козлов, В.  И. Мартынов, А. Е. Панова, А. Д. Просий, В. А. Фролов, А. А. Хаметов, В. А. Хрусталев, Н. Н. Чернова, В. П. Ярыгин и многие другие.

"Перспективы у "Микрона" есть, и какие! В 1960-е мы осваивали производство микросхем на пластинах кремния диаметром до 60 миллиметров, сейчас производим интегральные схемы на 200-миллиметровых пластинах. Уже внедрили технологии с топологическим уровнем 180 и 90 нм. Будем осваивать уровень 65 и 45 нм", - говорит Леонид Гришаев, старожил предприятия, ведущий технолог технологического отдела производства кристаллов, работающий на "Микроне" с 1968 года. Подготовкой перехода к освоению технологий 65 и 45 нм, разработкой методики использования сред занимается еще один ветеран предприятия - лауреат премии Совета Министров СССР, начальник отдела развития систем инфраструктуры Антон Просий. Он утверждает, что работа на "Микроне" для него все равно, что на "острие", на самом передовом крае науки - такие компании, как эта, в мире можно пересчитать по пальцам. Сросся с родным "Микроном" и начальник отдела разработки и измерений интегральных схем, лауреат Государственной премии Владимир Неклюдов, отдавший родному предприятию 44 года. Он и сейчас возглавляет направление, ведущее разработку интегральных схем и выполняющее производственные задачи, связанные с планированием, оптимизацией, увеличением производительности, контролем на участке изготовления кристаллов на пластине.

Приехавший из Херсона в Зеленоград в 1972 году на учебу в МИЭТ Александр Маркин не думал, что отдаст большую часть жизни работе на "Микроне" и что будет основателем трудовой династии. Сегодня на "Микроне" работают он сам, его жена и сын.

Молодые ребята Дмитрий Серебряков и Александр Диденко, пришедшие не так давно на "Микрон", уже через два года добились значительных успехов и стали по итогам года "лучшими по профессии" на предприятии. В прошлом году пальму первенства они передали Ирине Коротовой и Марии Лизавенко.

Автор: Наталия Алимжанова