Производство микросхем 90 нанометров открыто на «Микроне»


Торжественное открытие линии по производству микросхем с проектными нормами 90 нанометров состоялось сегодня на зеленоградском заводе «Микрон». От перерезания традиционной красной ленты в этот раз решили отказаться — новое производство открыли с помощью смарт-карты.

Запуск новой линии позволит не только вдвое увеличить объем производства (до 36 тысяч 200мм пластин в год), но и освоить новые типы продукции. С открытием зеленоградского производства, Россия стала восьмой страной в мире, обладающей технологией 90 нанометров, на которую приходится около 35% мирового производства чипов (без учета памяти и процессоров).

Начать коммерческое производство на новой линии, то есть достичь показателей выхода годных чипов свыше 90%, планируется в апреле-мае, рассказал в интервью Zelenograd.ru председатель совета директоров ОАО «НИИМЭ и завод Микрон» Геннадий Красников. По его прогнозу полностью линия будет загружена к концу 2013 — началу 2014 года.

Микросхемы, изготовленные по технологии 90 нанометров, будут использовать в вычислительных комплексах, системах автоматизации производства, паспортно-визовых документах, смарт-картах, в проекте универсальной электронной карты. Значительная часть продукции будет поставляться на экспорт: «Мы сейчас сделали целый ряд интегральных схем, в том числе RFID, и поставляем их на экспорт, особенно в Юго-Восточную Азию, где эта технология быстро развивается и потребности очень большие», — рассказал Красников. Планируется, что к 2015 году объем продаж продукции этого проекта составит 12 миллиардов рублей в год.

По сведениям «Микрона», для запуска новой линии дополнительно построено 700 кв.м. чистых помещений, модернизирована технологическая инфраструктура (смотрите репортаж Zelenograd.ru из чистых помещений «Микрона»). На средства Роснано, которое вложило в проект 6,5 млрд рублей, закуплено 45 единиц нового оборудования и приобретена технология у французской компании STMicroelectronics. В новом технологическом процессе используется 9 уровней металлизации (против 5 на существующем производстве 180 нм), в том числе медь. Это позволяет увеличить степень интеграции микросхем в 3 раза, быстродействие микрочипа в 1,7 раз и снизить энергопотребление в 1,5-2 раза по сравнению с продукцией, произведенной по технологии 180 нм.

По проектам 180 и 90 нанометров с «Микроном» взаимодействует более чем 50 ведущих мировых компаний. По словам Геннадия Красникова, для нового проекта создана уникальная аналитическая лаборатория, позволяющая на месте осуществлять проверку материалов и сред. В апреле компания Air Liquide сдаст в эксплуатацию новую азотогенерирующую станцию. Производители закупленного оборудования создают местные представительства для его обслуживания.

Всё это усиливает роль «Микрона», как базового элемента микроэлектронного кластера в Зеленограде. «В той или иной форме мы начинаем взаимодействовать уже не с десятками, а с сотнями компаний. — отметил Геннадий Красников. — И тем, кто хочет заниматься микроэлектроникой, намного проще, так как не приходится начинать с нуля — все их действия накладываются на определенную инфраструктуру».

Помимо производства, «Микрон» активно развивает научные исследования и работу в области проектирование микросхем. «„Микрон“ традиционно выступал и как разработчик технологий, и как разработчик изделий», — говорит Геннадий Красников. Развитие идет как в плане технологической поддержки сторонних дизайн-центров для дальнейшего производства их изделий на «Микроне», так и в области собственной разработки интегральных схем, под конкретных потребителей, не ограничиваясь существующими технологическими возможностями, а работая на опережение.

Проект «90 нанометров» реализуется совместно с ОАО «Роснано», которое вложило в него 6,5 млрд рублей и владеет 49% долей. «Проект был сложный, — рассказывает в интервью Zelenograd.ru заместитель председателя правления Роснано Андрей Малышев. — Мы в каком-то смысле сэкономили определенные капитальные затраты, вписывая его в имеющуюся инфраструктуру для 180 нанометров, и располагая персоналом, понимающим данное оборудование. Это позволило в короткие сроки провести достаточно сложные работы, не прекращая работу 180 нанометров».

Стратегическая миссия Роснано по словам Малышева «не сидеть в проектах, а запускать, выходить и заново запускать». То есть рано или поздно доля Роснано в производстве 90 нанометров может быть продана. «Ситроникс», контролирующий зеленоградскую фабрику, не исключает возможности в будущем выкупить долю Роснано. «Всё зависит от цены, будем торговаться», — говорит Геннадий Красников.

Последовательное развитие по минимизации топологических размеров до 65-45 и дальше на существующем предприятии уже невозможно. Микросхемы по нормам 65-45 нанометров нужно выпускать на пластинах большего диаметра — 300 мм, а значит строить новую фабрику. Существующий проект по строительству такого предприятия в рамках частно-государственного партнерства на площадке «Алабушево» зеленоградской особой экономической зоны пока не развивается. По словам Геннадия Красникова, государство не отказывается от финансирования, но к активным действиям по проекту «65-45 нанометров» на «Микроне» перейдут примерно через полгода.