Импортозамещение в электронном машиностроении: первый отечественный фотолитограф 350 нм

Микроэлектроника 2025 Отраслевые решения ЗНТЦ

24 сентября 2025 363

23 сентября на площадке российского форума «Микроэлектроника 2025» подписан договор на поставку первой отечественной установки совмещения и проекционного экспонирования c разрешением 350 нм (фотолитографа) между Зеленоградским нанотехнологическим центром (ЗНТЦ) и Отраслевыми решениями (входят в Группу компаний «Элемент», MOEX:ELMT, резиденты ОЭЗ «Технополис Москва»), в развитие подписанного годом ранее соглашения ЗНТЦ и Микрона (входит в Группу компаний «Элемент», MOEX:ELMT), резидента ОЭЗ «Технополис Москва».

Фотолитограф ЗНТЦ предназначен для проекционного переноса изображения фотошаблона на полупроводниковую пластину и мультипликации его на пластине при изготовлении сверхбольшой интегральной схемы (СБИС) с проектной топологической нормой 350 нм. Договор, подписанный генеральным директором АО «ЗНТЦ» Анатолием Ковалевым и генеральным директором АО «Отраслевые решения» Дмитрием Ершом, включает поставку, монтаж и пусконаладку оборудования.

«В ходе проекта мы совместно с ЗНТЦ работали над технологией переноса изображения под задачи Элемента и Микрона. Подтверждено соответствие всем параметрам, заявленным в техзадании на ОКР», – сообщила Гульнара Хасьянова, генеральный директор АО «Микрон», председатель совета директоров АО «Отраслевые решения».

«Сегодня мы закладываем фундамент нового этапа развития отечественной микроэлектроники. В ЗНТЦ завершена разработка установки совмещения и проекционного экспонирования с разрешением 350 нм, ее параметры подтверждены на производственной площадке, осуществляется переход к серийному производству. Это первый шаг в создании линейки российских литографов. Создан серьезный задел, который позволяет нам перейти к разработке полностью локализованных установок с нормами 90 нм», – сказал Анатолий Ковалев, генеральный директор АО «ЗНТЦ».

«Перед нами стоит задача запустить производство электронной компонентной базы мирового класса. Литограф ЗНТЦ предназначен для топологических норм до 350 нм, которые используются в силовой электронике, автоэлектронике и промышленных системах», – отметил Дмитрий Ерш, генеральный директор АО «Отраслевые решения».

Установка совмещения и проекционного экспонирования с разрешением 350 нм создана в рамках реализации одного из первых проектов госпрограммы по локализации в России технологической цепочки производства микросхем с топологическими нормами 350-130 нм для обеспечения технологической независимости и предназначена для модернизации существующих и оснащения новых микроэлектронных производств. Разработана и произведена в партнёрстве с белорусским ОАО «Планар». Основные характеристики фотолитографа представлены на сайте ЗНТЦ.

Соглашение о сотрудничестве в освоении технологий и производстве фотолитографического оборудования для решения задач импортозамещения было подписано между ЗНТЦ и Микроном 24 сентября 2024 года.

Развитие современной отрасли электронного машиностроения — важный фактор обеспечения технологического суверенитета электронной промышленности. Микрон – ведущая производственная площадка в отрасли, открыта для сотрудничества со всеми, кто заинтересован в развитии отечественной компонентной базы, локализации продукции, импортозамещении материалов и развитии русской инженерной школы, технологической базы и производства.

Форум «Микроэлектроника 2025» проходит 21-27 сентября на площадке Научно-технологического Университета «Сириус» (Федеральная территория «Сириус», Олимпийская деревня) при поддержке Министерства промышленности и торговли Российской Федерации, Министерства науки и высшего образования Российской Федерации и Группы компаний «Элемент». Продукция Микрона представлена на объединенном стенде ГК «Элемент» (№129).

Российский форум «Микроэлектроника 2025» проводится с 2015 года. Количество участников и докладов за 10 лет проведения ключевого события увеличилось в десять раз. В 2024 году в Университете «Сириус» собрались 3 500 участников. Форум стал главной межотраслевой площадкой для деловых и дружеских контактов профессионалов в области разработки, производства, поставки и применения электронной компонентной базы, радиоэлектронных средств. Организаторами форума «Микроэлектроника 2025» выступают АО «НИИМЭ» и АО «НИИМА «Прогресс» при поддержке Министерства промышленности и торговли Российской Федерации, Министерства науки и высшего образования Российской Федерации.

АО «Зеленоградский нанотехнологический центр» – одна из лидирующих инновационных компаний в России, обеспечивает полный цикл разработки и производства микросхем и датчиков физических величин для промышленных применений, оказывает комплекс технологических услуг для дизайн-центров, производителей радиоэлектронной аппаратуры. Приоритетным направлением деятельности компании является развитие современных технологий производства и разработка перспективной высокотехнологичной продукции совместно с ведущими российскими научными организациями и производственными предприятиями. Является резидентом Особой экономической зоны «Технополис Москва».

АО «Отраслевые решения» – фабрика силовой электроники в составе ГК «Элемент», резидент ОЭЗ «Технополис Москва», созданная для локализации в России всей производственной цепочки силовой электроники, востребованной в энергетике, тяжелом и легком машиностроении, приборостроении, авиации и других отраслях промышленности.

Микрон – единственное в РФ серийное производство микроэлектроники с топологией до 90 нм (входит в Группу компаний «Элемент», MOEX:ELMT), резидент ОЭЗ «Технополис Москва». Микрон производит более 900 типономиналов продукции на топологических нормах до 90 нм, включая интегральные схемы для автоэлектроники, интернета вещей, жестких условий эксплуатации, защищенных носителей данных, идентификационных, платежных и транспортных документов, управления питанием и RFID-маркировки для различных отраслей цифровой экономики, в том числе микросхемы в реестре отечественной промышленной продукции.

Группа компаний «Элемент» (MOEX:ELMT) – совместное предприятие АФК «Система» и госкорпорации «Ростех», созданное в 2019 году для формирования единого национального центра компетенций в сфере разработки и производства микроэлектроники в России. В Группу входят более 30 дизайн-центров и производственных площадок: завод по производству чипов «Микрон», НИИ молекулярной электроники (НИИМЭ), НИИ электронной техники (НИИЭТ), «Прогресс», НЗПП «Восток», НИИ точного машиностроения (НИИТМ) и другие. Предприятия группы ведут разработки новых технологий в следующих направлениях: вычислительная техника, связь и навигация, силовая электроника, разработки для микроэлектронных производств. Компания владеет более 480 патентами и производит более 3000 типономиналов продукции. В мае 2024 года «Элемент» провел IPO. Привлеченные средства были направлены на расширение производств, запуск новых продуктов и международную экспансию.