MPW (Multi Project Wafer)

• Запуск на одной пластине нескольких проектов по единой технологии;
• Поставка в форме кристаллов (контейнеров) в кассете;
• Существенное снижение затрат на разработку и тестирование образцов (прототипов).

Особенности:

• Сроки запусков и выпусков фиксированы в рамках общего расписания;
• Поставка в виде небольшого количества образцов (кристаллов);
• Не для серийного (массового) производства.

MLM (Multi Layer Mask)

• Два слоя на одном фотошаблоне;
• Индивидуальный и гибкий график запуска;
• Возможность запуска одного проекта (SPW) или нескольких (MPW) на пластине;
• Привлекательная стоимость по сравнению с запуском FMS;
• Возможна остановка пластин на маршруте;
• Возможность корректировки проекта индивидуально на уровне слоев.

Особенности:

• Не для серийного (массового) производства;
• Форма поставки по умолчанию - пластины c контролем WAT (PCM)-параметров.

• Запуск по полному комплекту фотошаблонов: один слой топологии – один фотошаблон;
• Индивидуальный и гибкий график запусков;
• Широкий выбор формы поставки;
• Подходит для серийного (массового) производства.

Особенности: